鼎佳DNX系列為高效能NOx去除裝置，專為半導體產業廢氣處理設備（Local Scrubber）應用需求所開發，特別適用於半導體廠內氫氣管線建置受限或導入不易之場域。DNX 整合先進技術與控制機制，可於設備內部即時生成反應所需之氫氣，並直接與氮氧化物（NOx）進行反應，達成優異的去除效果，實測可達「Not Detected」之排放水準。

DNX提供「嵌入式」與「外掛式」兩種彈性配置。嵌入式設計可直接整合於廢氣處理設備內部，實現空間最佳化與系統一體化；外掛式則可作為獨立模組，快速導入既有的廢氣處理設備，無需大幅更動原有配置，特別適用於既有機台升級與retrofit應用。兩種架構可依現場條件靈活選用，兼顧導入效率與系統整合彈性。

相較於外部管線供應氫氣方式，DNX無需額外氣體供應系統，具備快速反應與高適應性特性，可因應製程條件彈性調整，維持穩定且優異的 NOx 去除效能，且客戶實測效能優於外部管線供應氫氣方式。

DNX 採模組化設計，可依不同製程排氣量與NOx濃度需求彈性擴充，並整合控制系統，具備即時監測、流量調控與多重安全保護機制，確保設備長時間穩定運轉。此外，產品通過SEMI S2安全及相關防爆等認證，在設備安全性、可靠性與產線導入適用性方面均符合半導體產業嚴格標準。

DNX為製程廢氣處理中NOx控制的高效解決方案，兼具安全性、環保性與操作便利性，亦符合日益嚴格的環保法規與ESG永續發展要求。