有效去除氫氣中的各類雜質,實現高純度氫氣。產品廣泛適用於半導體產業電子級氫氣純化、石化產業副產氫氣純化,以及各類工業氫氣純化處理等。
PCAP 採用大量直徑約 1 mm、內部具微孔結構的陶瓷管所構成,具備低壓損特性,可依客戶需求於近常壓或高壓條件下穩定運作,並快速吸附雜質氣體分子,可將氫氣純度提升至6N(99.9999%)以上,滿足半導體製程需求,整體回收率最高可達95%。系統採模組化設計,可根據不同氣體組成與雜質特性,彈性搭配專用吸附材料,精準去除各類污染物,包括水分(H₂O)、氧氣(O₂)、低濃度氮氣(N₂, <1%)、二氧化碳(CO₂)、硫化氫(H₂S)、氨氣(NH₃)、揮發性有機物(VOCs)及其他等。
此外,隨著先進製程對氣體純度要求持續提升,例如惰性氣體氬氣(Ar)的去除,或氦氣(He)純化等應用需求,鼎佳PCAP系統亦可依客戶製程條件進行客製化設計,提供高彈性且可擴展的氣體純化解決方案。