多孔陶瓷吸附純化器 PCAP

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Product
Introduction

產品介紹

專為氫氣純化而設計的高效設備

有效去除氫氣中的各類雜質,實現高純度氫氣。產品廣泛適用於半導體產業電子級氫氣純化、石化產業副產氫氣純化,以及各類工業氫氣純化處理等。

PCAP 採用大量直徑約 1 mm、內部具微孔結構的陶瓷管所構成,具備低壓損特性,可依客戶需求於近常壓或高壓條件下穩定運作,並快速吸附雜質氣體分子,可將氫氣純度提升至6N(99.9999%)以上,滿足半導體製程需求,整體回收率最高可達95%。系統採模組化設計,可根據不同氣體組成與雜質特性,彈性搭配專用吸附材料,精準去除各類污染物,包括水分(HO)、氧氣(O)、低濃度氮氣(N, <1%)、二氧化碳(CO)、硫化氫(HS)、氨氣(NH)、揮發性有機物(VOCs)及其他等。

此外,隨著先進製程對氣體純度要求持續提升,例如惰性氣體氬氣(Ar)的去除,或氦氣(He)純化等應用需求,鼎佳PCAP系統亦可依客戶製程條件進行客製化設計,提供高彈性且可擴展的氣體純化解決方案。

效能測試:
這個實際的商業案例,同時導入了PCAP與ECHP技術。
下表總結了PCAP處理前後的性能表現。PCAP能夠有效將多種雜質,包括一氧化碳(CO)、氨氣(NH)、硫化氫(HS)以及磷化氫(PH),從ppm等級降低至ppb等級。

Operating
principle

運作原理

PCAP設備使用大量1毫米的多孔陶瓷管。
這些管子能快速吸附各種雜質分子,同時允許氫氣通過。
PCAP能有效去除水分、氧氣、氨氣、硫化氫、VOCs以及低濃度氮氣和各種其他污染物。它同時進行吸附和再生,確保系統連續運行不中斷。此系統採用模組化設計,可根據不同雜質提供靈活配置,易於擴展和維護。

application

應用服務

電子級高純度氫氣純化